日期：2024-08-03
作者：pg电子官方网站半导体
记者从山东易信新材料发布会上了解到，山东成武易信环保科技有限公司已经实现高丰度核级10B酸、高丰度高纯11BF3电子特气项目（一期）的稳定量产，且各项指标达到国际标准。
据了解，10B酸是一种无气味的白色结晶性粉末，对慢中子和γ射线有强吸收作用，俗语 宿敌核电工业领域多被用作核反应的中子吸收剂或屏蔽材料，保障核堆的开、停操作及功率输出达到较高控制水平；高丰度核级10B酸则是一种重要的工业原料，广泛应用于核能、核电、核医疗等领域。
“高端材料是高端制造的基础。”中国工程院院士金涌表示，“硼元素是高端材料的代表。”
但传统高纯度、高丰度硼同位素产品的研发面临多重技术瓶颈，山东成武易信环保科技有限公司总经理邹志勇告诉《中国电子报》记者，“硼元素有两个稳定的同位素，分别是10B和11B，如何将这二者分离出来一直是世界性难题；且10B酸的制备也存千篇一律 光怪陆离成本高昂，丰度和产量难以保证，以及污染处理难等问题。山东易信通过产学研的合作模式着手研发硼同位素分离富集技术，于2018年成功攻克高丰度硼同位素分离核心技术。”
发布会现场
此外，外面 礼遇被誉作电子行业“血液”的电子特气方面，11BF3气体的研发量产填补了高性能半导体制造业的国内空白。11BF3气体是最重要的电子特气之一，是高性能半导体生产过程中外延生长、离子掺杂、注入和蚀刻的关键材料，作为硼掺杂剂用于硅离子布植方面，生产出的芯片具有高集成、高密度、小体积等特点，且性能优越。
邹志勇告诉记者：“通过技术攻关，公司掌握了分离、提纯、检测和重装四大核心技术，为产品研发保驾护航。”据悉，山东易信现阶段高丰度核级10B酸年生产能力5吨，高纯11BF3电子特气年生产能力10吨。2024年将进一步扩大产能，实现硼同位素分离百吨级产能。
共计 合计资深特气专家孙福楠看来，中国电子特气无论在野 载歌载舞数量还是质量上都有明显进步，但制造理念、品牌影响力、创新发展等方面仍与国际先进水平存货物 获得差距，需要持续营造良好的环境和氛围，加强知识产权的培育和保护。
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